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產品詳情

  • 產品名稱：日本KASHIYAMA樫山高速排氣真空泵

  • 產品型號：SDL12E50
  • 產品廠商：日本KASHIYAMA樫山
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
SDL 系列，大功率高速排氣，可滿足超過15萬L/min的需求。
詳情介紹：


SDL系列

KASHIYAMA工業的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。

支持放大晶圓和FPD

通過組合可以實現大排量。 我們將回應超過150,000升/分鐘的要求。

更短的節拍時間

通過確保大氣側排氣速度，高速抽空大型負載鎖定室



1，充分應對晶片FPD的大口徑化通過組合

可實現大排氣量化。可滿足超過15萬L/min的要求。

2，由于高速排氣縮短節拍時間，通過確保大氣側排氣速度
通過大型負載鎖定室的高速排氣，縮短節拍時間。



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